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產(chǎn)品簡介
CVD氣源發(fā)生器，設備配備預壓料桶、與大氣隔離的泵模組、高穩(wěn)定/耐腐蝕蒸發(fā)器以及一體化設計的嵌入式預熱器。
產(chǎn)品分類
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例
PLC控制系統(tǒng)，Ethernet通訊，與CVD生產(chǎn)線主控系統(tǒng)通訊。
含錫前驅(qū)體 | ≤60 | sccm |
含氟前驅(qū)體 | ≤20 | sccm |
H2O | ≤60 | sccm |
功率 | 7.5 | kW |
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